LG/LGH螺桿真空泵系列
螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉(zhuǎn)子與泵體組成的一個工作室,轉(zhuǎn)子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙,兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時把密封腔內(nèi)的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封,泵腔內(nèi)完全無油,因此螺桿真空泵是無油干式真空泵,在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)越性,可較好地替代旋片式真空泵、滑閥式真空泵使用。
螺桿真空泵的一個導(dǎo)程相當(dāng)于一級泵,多個導(dǎo)程的螺桿真空泵相當(dāng)于多級泵串聯(lián),相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯(lián)的干式真空泵而言,因螺桿真空泵的各級泵之間無內(nèi)部通道,而是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè),因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。
螺桿真空泵是由一對平行的螺旋狀轉(zhuǎn)子與泵體組成的一個工作室,轉(zhuǎn)子與泵體之間沒有磨擦且保持一定的間隙,兩個轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔,當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時把密封腔內(nèi)的氣體不斷地擠帶至排氣口排出。因螺桿真空泵無需油潤滑或水密封,泵腔內(nèi)完全無油,因此螺桿真空泵是無油干式真空泵,在半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的場合以及化工制藥中對溶劑的回收工藝等具有不可比擬的優(yōu)越性,可較好地替代旋片式真空泵、滑閥式真空泵使用。
螺桿真空泵的一個導(dǎo)程相當(dāng)于一級泵,多個導(dǎo)程的螺桿真空泵相當(dāng)于多級泵串聯(lián),相對于爪式真空泵、多級羅茨真空泵等多級串聯(lián)的干式真空泵而言,因螺桿真空泵的各級泵之間無內(nèi)部通道,而是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè),因此在抽除可凝性氣體、帶有粉塵及顆粒物的氣體時不易堵塞且清洗方便。
本公司生產(chǎn)的螺桿泵有以下的特點(diǎn):
1、真空度高,單泵極限壓力LG型≤1Pa,LGH型≤5Pa,高真空區(qū)抽氣量大。
2、工作效率高,功耗低。
3、泵腔內(nèi)無油,對被抽系統(tǒng)無污染,可獲得潔凈真空。
4、LG系列螺桿泵轉(zhuǎn)子間隙相對較小,極限真空度更高,適用于半導(dǎo)體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的工作場合;LGH系列螺桿泵轉(zhuǎn)子間隙相對較大,極限真空度相對低一些,泵腔及轉(zhuǎn)子表面有鍍鎳層或PTFE涂層可供選擇,可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕性介質(zhì),適用于化工、制藥等工作環(huán)境較為惡劣的工作場合。
5、工作過程中無廢油、廢水排放,對環(huán)境無污染。
6、結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,維修方便,占地面積小。